收藏本站
《光学精密工程》 2017年08期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用

匡尚奇  张超  王一名  周祥燕  谢耀  
【摘要】:为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA)。对比分析了基于IQEA和QEA的宽带Mo/Si多层膜的膜系设计过程和结果,结果表明,基于IQEA的多层膜膜系设计理论方法具有更优越的求解效率和精度;同时,IQEA同样可以小种群规模进行多参数优化。基于IQEA的宽带Mo/Si多层膜的设计理论实现了包括入射角为0°~18°,反射率达50%的宽角度多层膜,以及反射光谱带宽为13~15nm,反射率达25%的宽光谱多层膜的设计。基于IQEA的宽带高反射率EUV多层膜的理论膜系设计方法为复杂多层膜的理论设计提供了一种可供选择的高效膜系设计方法。
【作者单位】长春理工大学理学院;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【基金】:国家自然科学基金青年基金资助项目(No.61405189) 吉林省科技发展计划资助项目(No.20150101019JC;20170312024ZG)
【分类号】:O484;TP18
【正文快照】:
1引言极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)波段内的强吸收作用使得EUV波段的辐射研究十分困难。1972年,E.Spiller首次提出采用高低折射率材料交替制备λ/4波堆的多层膜结构,在理论上可获得较高的非掠入射反射率[1]。这个思路给EUV波段的辐射研究带来了曙光,使这一问题得到了解决

【相似文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 蔡延光;张敏捷;蔡颢;章云;;混合混沌量子进化算法[J];系统工程理论与实践;2012年10期
2 徐丽;利稷夫;张华;;量子进化算法在网络平衡分配模型中的应用[J];电子元器件应用;2009年12期
3 郭永;张韧;;量子进化膜算法及其背包问题应用[J];电子元器件应用;2012年09期
4 张伟丰;钱洁;;一种渐变概率选择操作的实数编码量子进化算法[J];湖北汽车工业学院学报;2013年04期
5 李国柱;;基于改进量子进化算法的PID参数优化[J];现代电子技术;2012年16期
6 权芳芳;许峰;;基于量子位Bloch球面坐标的量子进化算法[J];软件导刊;2013年02期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 谭立湘;量子进化算法中信息共享机制研究[D];中国科学技术大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 钱小毅;基于等位基因量子进化算法的经纱断头率优化研究[D];沈阳工业大学;2016年
2 李桂红;量子进化算法的研究及应用[D];河北工程大学;2009年
3 石洪竺;量子进化聚类算法研究[D];西安电子科技大学;2010年
4 刘范范;MapReduce与量子进化算法的研究及应用[D];安徽大学;2012年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026